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关于福宜

About

发展历程

2011年,着眼于高端真空镀膜设备的国产化,中国科学院上海微系统所的褚家宝博士组建技术团队,成立上海福宜新能源科技有限公司。

公司成立之初,研究团队针对薄膜太阳能电池领域的核心制程设备展开研究,同时对核心部件及薄膜工艺深入研究。在这个过程中,掌握了大量的薄膜制备工艺、真空设备设计及制造等核心技术,同时借鉴国外领先部件厂家产品,优化出国内领先,达到国际同期最好水平的核心部件。

2013年,鉴于真空镀膜应用的广泛性,公司结合掌握的核心工艺及核心部件,成立上海福宜真空设备有限公司,专注于核心部件、成套设备的开发和销售。

核心部件主要有:高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达到80%以上)、线性离子源、大面积多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极等。

成套设备主要有:工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射复合多弧离子镀镀膜设备、连续线式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、CVD和PECVD化学气相沉积设备、ICP刻蚀设备和ALD原子层沉积等系列真空镀膜和表面处理设备。

在此期间,公司和上海交通大学、同济大学、华东师范大学和东华大学等高校建立了紧密合作关系,强强联合、优势互补,开发真空设备和镀膜工艺等核心技术。公司组建了近20名由博士、硕士和副高以上职称工程技术人员组成的研发团队;公司拥有净化等级优于1万级的装配车间。从软件到硬件,公司在产品开发方面积极投入,确保公司产品和技术服务达到较高水平。

2016年,随着企业发展,在行业内的影响力逐渐加大,为满足客户需求,成立上海福宜纳米薄膜技术有限公司,专门开展真空镀膜加工服务。服务的种类有:真空工模具镀膜、真空转绕镀膜、真空装饰镀膜、真空滚镀及真空陶瓷金属化镀膜等。通过3年的发展,福宜纳米已经发展成为在华东地区具有较大影响力的镀膜加工企业。

2018年08月,应国内汽车配套厂家要求,开发国产高温(950-1000℃)高精度Pt传感器。公司聘请国内Pt传感器专家为公司顾问,深入研究产品工艺,提出国内领先的,行业独创的制备工艺。公司配备了退火设备、镀膜设备、调阻设备、封装设备等组成完整的生产线。2019年3月,完成了产品的小批量测试。各项指标达到客户要求,与国际品牌基本持平。

2018年09月,结合氢燃料电池客户需求,在原有的镀膜设备和丰富薄膜工艺基础上,公司开发出国内领先的金属双极板镀膜工艺及设备。通过同济大学和清华大学测试产品指标达到国内领先水平,设备的设计原理及薄膜工艺开发领先国内其他厂家。
   2012年-2018年公司共承担四个上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重点项目新型节能高效真空镀膜设备的开发和产业链建设》、《功能性厚膜高速真空沉积系统集成》、《复合真空法陶瓷金属化工艺研究及设备集成》、《纳米复合固态润滑材料制备工艺研究和设备集成2017年嘉定区产学研项目低损伤磁控溅射工艺开发》。研发投入在4000万元以上。

复合真空法陶瓷金属化工艺研究及设备集成获得嘉定2017年科技进步奖。 2016年上海市创新资金项目全表面离子镀膜系统获得2016年度上海市真空科技成果一等奖;2016年度,公司获得国家产学研合作创新奖”。公司获得发明专利3项,实用新型专利20多项。

公司围绕真空薄膜制备工艺、核心部件及设备集成。经过8年的努力,福宜真空已经发展成为在国内具有较大影响力的真空设备及真空镀膜加工企业。同时在燃料电池极板镀膜、Pt传感器等多个应用领域成为国内的技术开拓和领导者。在未来的发展中,福宜真空一定坚持技术创新的发展之路,愿与国内外伙伴合作,共同开发新技术新产品,创造企业的高质量发展,在更多的产品领域提供高质量的薄膜工艺及设备。